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XP-703D半導(dǎo)體特氣檢漏儀（自動(dòng)吸引式）

詳細(xì)介紹

XP-703D半導(dǎo)體特氣檢漏儀（自動(dòng)吸引式）

于檢測(cè)半導(dǎo)體特氣的微量泄漏。
 采用聲光報(bào)警。

XP-703D半導(dǎo)體特氣檢漏儀（自動(dòng)吸引式）技術(shù)參數(shù)：

型 號(hào)

XP-703D

檢測(cè)對(duì)象氣體

半導(dǎo)體材料氣體（胂、膦、乙硼烷、硅烷、氫氣等）

檢測(cè)原理

型半導(dǎo)體式

采樣方式

自動(dòng)吸引式

可檢測(cè)濃度 
（單位：ppm）

砷烷 磷烷 乙硼烷 硅烷 氫氣 
AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2 
0.2 0.3 0.1 0.5 1.0

檢測(cè)表示

蜂鳴器斷續(xù)鳴響及指示燈閃爍

應(yīng)答速度

10秒以?xún)?nèi)


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